【摘 要】
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提出了一种具有“8悬臂梁-质量块”结构的新型三明治式硅微机械电容式加速度计,用微机械加工工艺在（111）硅片上制作出了具有信号输出的器件.该加速度计的惯性质量块由同一（111）硅
【机 构】
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中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室,中国科学院研究生院
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提出了一种具有“8悬臂梁-质量块”结构的新型三明治式硅微机械电容式加速度计,用微机械加工工艺在（111）硅片上制作出了具有信号输出的器件.该加速度计的惯性质量块由同一（111）硅片上下表面对称分布的8根悬臂梁支撑.这些悬臂梁是利用（111）硅在KOH溶液中的各向异性腐蚀特性结合深反应离子刻蚀（DRIE）实现的,其尺度精确可控,保证了结构的对称性.该加速度计的谐振频率为2.08kHz,品质因子Q为21.4,灵敏度为93.7mV/g.
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