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全自动晶圆划片机软件系统的.设计与实现
全自动晶圆划片机软件系统的.设计与实现
来源 :电子工业专用设备 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ericlin1985
【摘 要】
:
介绍了全自动晶圆划片机设备软件系统的设计与实现。根据设备自动化程度高,功能模块多、复用性强、耦合性强且复杂的特点,将软件系统按照层次化、模块化设计.并提出“二次封装”
【作 者】
:
刘婷婷
赵志伟
李战伟
闫启亮
【机 构】
:
北京中电科电子装备有限公司
【出 处】
:
电子工业专用设备
【发表日期】
:
2012年6期
【关键词】
:
全自动晶圆划片机
软件控制系统
二次封装
运动逻辑
Automation
Wafer
Dicing machine
Software control sy
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介绍了全自动晶圆划片机设备软件系统的设计与实现。根据设备自动化程度高,功能模块多、复用性强、耦合性强且复杂的特点,将软件系统按照层次化、模块化设计.并提出“二次封装”、界面脱离运动逻辑功能的思想。
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