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陶瓷环高阻膜作为筒镜分析器避免边缘电场效应的重要部件,其质量对电子能量分析器的性能有很大的影响。本文介绍了在陶瓷环上采用适当地分层蒸镀Cr膜和老化处理,制成时间稳定和温度稳定的高阻膜,经测试性能良好,并已实用于俄歇电子谱仪中。
用于筒镜分析器的陶瓷环高阻膜的研制
【摘 要】
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陶瓷环高阻膜作为筒镜分析器避免边缘电场效应的重要部件,其质量对电子能量分析器的性能有很大的影响。本文介绍了在陶瓷环上采用适当地分层蒸镀Cr膜和老化处理,制成时间稳定
【机 构】
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浙江大学物理系,浙江大学物理系,浙江大学物理系,浙江大学物理系
【出 处】
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浙江大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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1992年06期
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