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1.0Mev^208Pb离子在非晶Si中的投影射程Rp和射程偏差△Rp作为注量和温度二者的函数用背散射法进行测定,注量的变化范围为5×10^13~7×10^14cm^-2,注入是在室温和t=-120℃下完成的。由实验所确定的投射程,射程偏差与注量或温度无关,并且分别等于295和72.2nm。与TRIM86计算结果相比较,发现Rp的偏离为18%,而△Rp的偏离为36%,Rp和△Rp二者与注量及温度的