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用金属蒸发真空弧离子源注入机将 Y离子注入硅 ,制备出特性良好的硅化物。用掠角沟道技术和透射电子显微镜分析了这种硅化物的结构......
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Y离子注和主硅得到特性优良的硅化钇薄层。采用高深高分辨率的掠角背散射和掠角沟道技术分析了注入层结构。结果发现注入层是具有不......