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针对谐振腔微扰法测湿过程中，腔体尺寸随温度变化对测湿结果影响显著的问题，提出了温度补偿的实验方案。根据谐振腔体积微扰原理，对温度补偿原理进行了分析，推导了腔体尺寸变化量与频偏的关系，设计了温度补偿实验系统方案，并对实验中的温度控制系统进行了分析。该温度补偿系统结构简单、成本适中，并对提高谐振腔法微水测量精度具有重要意义。