基于微机械工艺的平面微电机的研究

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为提高微电机的输出力矩,增加微电机散热能力和电流密度,提高电机工作效率,设计了一种具有双转子结构的平面微电机。两个转予对称分布于定子两侧。转子采用永磁体进行轴向充磁。定予为平面线圈,是采用硅微机械加工技术和LIGA工艺制作的。线圈之间则采用了三相星形连接方式,线圈结构为平面型、无槽、集中绕组。把制作好的定子和转子装配后通以三相方波电流进行驱动,通过对其输出力矩和转速的测试证明电机运转良好。
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