【摘 要】
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硅中的碳近几年越来越引起人们的重视,它对晶体的完整性和对器件特性的影响已被人们逐渐认识。因此在硅单晶的工业生产上如何更有效地降低它的含量这一问题
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硅中的碳近几年越来越引起人们的重视,它对晶体的完整性和对器件特性的影响已被人们逐渐认识。因此在硅单晶的工业生产上如何更有效地降低它的含量这一问题
In recent years, the carbon in silicon has drawn more and more attention. Its influence on the crystal integrity and device characteristics has been gradually recognized. Therefore, in the industrial production of silicon single crystal, it is more effective to reduce its content
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