【摘 要】
：
对投影光刻机同轴对准系统进行了理论分析，阐述了系统的成象机理和工作过程，并在整机上检测了同轴对准系统的重复精度。该系统在掩模和硅片均刻有对准光栅标记，对光栅衍射后形成
论文部分内容阅读
对投影光刻机同轴对准系统进行了理论分析，阐述了系统的成象机理和工作过程，并在整机上检测了同轴对准系统的重复精度。该系统在掩模和硅片均刻有对准光栅标记，对光栅衍射后形成干涉信号，使对准信噪比大大提高，并实现了掩模和硅片之间的直接对准，同时利用光弹性调制器组件对光学信号进行了光学调制，由电路实施解调，提供了一种保持高信噪比，又使弱信号探测不降低精度的对准方案。该系统可适用于各种硅片衬底，工艺适应能力强
其他文献
以体内、体外相结合的方法,观察了药用植物红景天提取物——红景天素对二倍体成纤维细胞的形态及增殖的影响,同时对大鼠肝细胞的超微结构、肝内枯否氏细胞和肝细胞内脂褐素及
目的:从中药荔枝核中提取分离降血糖的有效部位并对该部位进行化学成分的研究。方法:采用动物实验和α-葡萄糖苷酶活性测定对荔枝核各提取部位进行活性筛选,采用酚-硫酸等方
<正> 晚期恶性肿瘤的治疗至今是个十分困难的问题,如何缓解症状,提高生存质量(QL),延长寿命,国内报道不多。作者近年用中药抗癌粉治疗42例晚期恶性肿瘤,有一定近期疗效,现报
目的探讨不同实验条件下不同血清浓度及体外培养时间对小鼠成纤维细胞L929细胞系生长曲线和细胞形态学变化的影响。方法采用体外细胞培养技术进行小鼠成纤维细胞L929细胞的培
今天的网络已经步入了一个新的时代,互联网媒体必须要开始重视关系的建立,尤其是与顾客之间的关系。互联网媒体所面对的顾客群相对比较复杂,对于顾客群的认识不够,与顾客之间
传动链刚度是机床中滚珠丝杠驱动进给系统建模和辨识的关键。该文基于静力学平衡方程和变形协调条件,建立了新的丝杠传动链静刚度模型;结合丝杠两端边界条件,求解其集中载荷
在科技发展日新月异的当今时代,科技创新已成为企业获得竞争优势的重要途径之一。企业要采取措施提升科技创新能力,首先要掌握自身科技创新情况,但是仅仅“知己”是不够的,作
研究目的：制定出适合胎动不安患者的中西医结合临床护理路径。评价其临床应用效果,以规范护理行为,减少护理差错；减轻患者的焦虑抑郁症状,提高保胎成功率和患者满意度；为创建具
徽州乡村遗存的记事碑刻是徽州众多历史文献当中独特的一种文献形式,它反映了一个地方的政治经济、宗族管理、宗教信仰、民俗习惯等方方面面,是研究徽州乡村历史发展的不可多