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期刊论文
RTP改善超薄SiO2膜特性的研究
RTP改善超薄SiO2膜特性的研究
来源 :半导体技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wsf3344
【摘 要】
:
超薄SiO2膜经快速热处理后,电特性得到了改善,本研究用超薄RTPSiO2膜制作MOS电容,h-NMOSFET中介栅介质层及FLOTOX-E^2PROM中作隧道氧化层,取得了一些实验结果,从结果中可以看出具有实有价值。
【作 者】
:
熊大菁
江思思
【机 构】
:
清华大学微电子学研究所
【出 处】
:
半导体技术
【发表日期】
:
1997年4期
【关键词】
:
RTP
热氮化
二氧化硅
氮氧化硅
ULSI
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超薄SiO2膜经快速热处理后,电特性得到了改善,本研究用超薄RTPSiO2膜制作MOS电容,h-NMOSFET中介栅介质层及FLOTOX-E^2PROM中作隧道氧化层,取得了一些实验结果,从结果中可以看出具有实有价值。
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