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介绍了等离子体刻蚀中的三种主要的数学模型，即：物理模型、反应表面模型、神经网络模型。简要地叙述了它们的原理和优缺点。
等离子体刻蚀的数学模型
【摘 要】
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介绍了等离子体刻蚀中的三种主要的数学模型，即：物理模型、反应表面模型、神经网络模型。简要地叙述了它们的原理和优缺点。
【机 构】
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华南理工大学电子与通信工程系
【出 处】
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真空科学与技术
【发表日期】
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2000年6期
【基金项目】
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西安交通大学电子物理与器件教育部重点实验室,国家自然科学基金! (6 97710 15 )
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