【摘 要】
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为了改进现有的RCA清洗法以及臭氧／过氧化氢湿式清洗技术，利用金刚石膜（BDD）电极的高级电化学氧化技术生成过氧化物氧化有机物，以实现简化清洗设备及节能环保。为研究金刚石膜电极
【机 构】
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河北工业大学信息工程学院,天津理工大学电子信息与通信工程学院
【基金项目】
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02国家重大专项(2009zx02308);国家自然科学基金(10676008);教育部博士基金(20050080007)重点学科资助
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为了改进现有的RCA清洗法以及臭氧／过氧化氢湿式清洗技术，利用金刚石膜（BDD）电极的高级电化学氧化技术生成过氧化物氧化有机物，以实现简化清洗设备及节能环保。为研究金刚石膜电极的氧化能力，电解不同浓度的硫酸钾溶液，通过高锰酸钾滴定法进行氧化性的测量，研究原料浓度对生成过氧硫酸盐浓度的影响；通过添加KOH调节pH值，研究pH值对电化学制备过氧化物的影响，用该电化学氧化方法与RCA清洗法进行清洗效果对比。实验结果显示，金刚石膜电化学氧化能力可以通过阳极电解液浓度以及pH值的调整得到控制，清洗效果在Si片表面粗
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