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电子技术的发展历程向人们展示了产品小型化的诸多优点。微米级的制造加工要求实现机器设备的微型化。多数MEMS器件由硅基微电子装置和微电机组成，硅基微电子装置的功能相当于系统大脑，而微电机则相当于系统的眼睛和四肢。这些器件以多种方式对周围环境进行探测和控制。传感器能够探测热量、机械、化学及光学变化，而执行器能够运动至目标位置，对其周围环境中的各种元件进行测量和调节。