论文部分内容阅读
介绍了微电子和微电子机械系统(MEMS)中几种常用的变形和形貌测量方法以及相关的测量设备.其中相移云纹干涉技术用于微电子器件的面内位移测量,灵敏度可达到纳米量级.显微栅线投影技术用于MEMS的离面变形和形貌测量,灵敏度可达0.1微米.
微电子与微电子机械系统(MEMS)中的现代光学测试技术
【摘 要】
：
介绍了微电子和微电子机械系统(MEMS)中几种常用的变形和形貌测量方法以及相关的测量设备.其中相移云纹干涉技术用于微电子器件的面内位移测量,灵敏度可达到纳米量级.显微栅
【机 构】
：
东南大学
【出 处】
：
机械强度
【发表日期】
：
2001年4期
其他文献
高校辅导员推动学风建设,有利于提高学生的综合素质,有利于发挥教师的主导作用,有利于促进校园文化建设。在网络冲击大学生的理想信念、思想道德和学业的背景下,高校辅导员应
在＂十二五＂时期,文化强省建设包括文化产业发展将成为全国各省区发展规划中凸显的重大战略之一。建设文化强省作为一种普遍现象,富含理论考察与学理研究的意义。这里至少有如下
<正> 凤是人们以现实为基础虚构出来的理想灵物,它虽为世人所不见,却符合一般禽鸟的结构,是禽类美的结合体。在漫长的岁月演变中,风的种类日益增多,称呼也各有不同,下面我们
中央企业是由中央政府监督管理的国有企业,是中国国有企业的重要组成部分。中央企业海外基层党组织建设主要指中央企业在海外机构中设置的基层党组织建设,包括组织制度建设、
作为汉末杰出的文学家与建安文学新局面的开创者,曹操用自己开创性的作品创造了文学上的新风气。本文主要从曹操的个性特征、创作的风格及诗歌的特色三个方面来进行简单的阐
"为什么我们的高校培养不出创新人才?",这是高等教育人才培养长期面临的困难.主要原因在于没有一个有效的手段来测定大学生个体的创新创业的实际情况,其能力培养没有针对性.
针对涂敷砂人工井壁防砂注蒸汽后强度较低,造成防砂成功率低,有效期较短的问题,通过对不同类型的耐高温树脂、高强度骨架颗粒、偶联剂、固化剂进行优选及加量调整,研制出了一
<正>明代的建立结束了近四百年的分裂对峙时期,成为继汉唐以后第三个强盛的中央集权王朝。同时明代也是我国古建筑历史上重要的转型时期,与汉唐两代并列,成为在建筑史上有突
以环渤海经济圈三省两市为研究对象,借助道格拉斯生产函数建立面板数据模型,引入产业生态化水平体系指标和控制变量,通过平稳性检验得出各变量均存在一阶单整,通过协整检验得
我国公路隧道照明运营中开灯率普遍较低,一般不到国家规范值的40%,远低于国家标准,隧道照明节能与交通安全矛盾突出,并造成严重视错觉,驾驶员容易低估车速,高估跟车距离,进而