MEMS器件建模与仿真分析方法研究

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【摘要】

：

基于主振型叠加法和拉格朗日动力学方程,建立微机电系统多场耦合分析的宏模型.这一模型是由常微分方程组成的有限自由度系统,自由度较少,系统状态方程简单,显著地减少计算时

【作者】

：

吕胜利韩永志

【机构】

：

西北工业大学国防科技研究院

【出处】

：

机械强度

【发表日期】

：

2005年4期

【关键词】

：

微机电系统宏模型微梁仿真 Micro-electro-mechanical system Macro-model Micro-beam Simula

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基于主振型叠加法和拉格朗日动力学方程,建立微机电系统多场耦合分析的宏模型.这一模型是由常微分方程组成的有限自由度系统,自由度较少,系统状态方程简单,显著地减少计算时间,为micro-electro-mechanical systems(MEMS)设计提供一种有效而准确的分析工具.算例表明,文中所提方法用于MEMS器件建模仿真分析是有效的.

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