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以浸没式技术引领光刻设备市场
以浸没式技术引领光刻设备市场
来源 :电子工业专用设备 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jtyz888
【摘 要】
:
在过去的几年中,ASML公司以创新的浸没式技术引领着光刻设备市场,又一次刷新了半导体制造的路线图。通过对浸没式光刻技术的再现和提升,ASML公司为芯片制造商开创了一个满足更小
【机 构】
:
ASMLNetherlands
【出 处】
:
电子工业专用设备
【发表日期】
:
2007年4期
【关键词】
:
ASML
浸没式光刻
双扫描台
扫描曝光设备
二次成像
双重曝光
极紫外光刻
ASML
immersion technology
TWINSCAN
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在过去的几年中,ASML公司以创新的浸没式技术引领着光刻设备市场,又一次刷新了半导体制造的路线图。通过对浸没式光刻技术的再现和提升,ASML公司为芯片制造商开创了一个满足更小设计尺寸要求的生产芯片的新局面
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