金刚石的同质外延掺硼和Schottky特性

来源 :材料研究学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:mad1979
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在<100>取向的金刚石衬底上,用微波PCVD法进行同质外延,掺杂和Schotty特性的实验研究,总结了反应气体,碳源浓度等因素对外延层形貌、结构的影响,B/C比对掺硼外延层结构、形貌和电学性能的影响,以及接触金属,温度对Schottky特性的影响。
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