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以钼酸铵为原料,乙二醇为溶剂,用溶胶-凝胶法制备MoO3薄膜,通过对干凝胶粉做DTA和TG分析,用SEM和XRD分析胶膜,热处理后氧化物膜多次重复浸涂热处理薄膜的显微结构和晶相组成,研究了氧化物薄膜的形成过程,重复4次浸涂热处理可得到的约2μm厚连续臻密的,主晶相为择优取向的斜方MoO3薄膜。