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2009年9月26日，国务院颁发了《关于抑制部分行业产能过剩和重复建设引导产业健康发展的若干意见》。该文件要求：多晶硅生产过程中还原尾气中四氯化硅（SiCl4）、氯化氢（HCl）、氢气（H2）的回收利用率不得低于98．5％、99％、99％。这使得多晶硅生产行业面临一个新的问题——对还原尾气中上述组分的回收利用率进行规定和检测评价，即如何对多晶硅生产企业还原尾气中的SiCl4、HCl、H2回收利用率进行检测评价。