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依靠最新授予的专利技术,一种新的微电子机械系统(MEMS)传感器可用于测量机油的粘度、密度、温度和质量流量。凭借其共鸣管粘度传感设备,集成传感系统公司(ISSYS)被授予US 7,059,176号专利。该技术的首批应用锁定在实验用粘度测量仪器和高容量机油质量的传感上。传感器由一个用硅或其他材料(如石英或玻璃)制成