PZT铁电薄膜的制备与性能

来源 :稀有金属材料与工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:rentianyou123
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用sol-gel法在Al2O3基片上制备PZT铁电薄膜。研究发现,制备PZT溶胶时加入乙酰丙酮可以提高溶胶的稳定性,并抑制热处理时薄膜上裂纹的产生。薄膜在700℃热处理可以得到单一的钙钛矿结构;低温慢升高温快升的升温制度可以减少薄膜的开裂。Pt底电极的加入有利于钙钛矿相的形成。PZT薄膜电滞回线形状和Pr、Ec等随着热处理制度和薄膜厚度的变化而变化。
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