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采用了准分子激光和研磨两种不同的加工方法，在微构件常用的Al2O3陶瓷材料表面构建表面微观形貌．通过表面轮廓仪测量加工试件表面形貌，采用自行研制的表面形貌参数表征系统进行表面形貌统计参数计算．分析不同加工方法对同一种材料表面形貌的影响，采用表面形貌统计参数中的轮廓高度算术平均值Ra轮廓高度均方根值Rq、坡度均方根值乙对表面形貌进行评价．结果表明，准分子激光加工表面的Ra、Rq和Zq值均比研磨加工表面小．分析可得，准分子激光加工与传统研磨加工方法相比，能够获得较高要求的表面形貌，为微机械的设计提供重要参考依