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本文简要叙述法国CAMECA公司,德国ION TOF GmbH公司新型的Nano SIMS50 IMS WF IMS SC UITRA TOF SIMS IV型二次离子质谱的特色,着重介绍这些仪器改进过的和新增加的仪器部件的原理、性能及功用.
几种新型号二次离子质谱仪采用的新技术
【摘 要】
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本文简要叙述法国CAMECA公司,德国ION TOF GmbH公司新型的Nano SIMS50 IMS WF IMS SC UITRA TOF SIMS IV型二次离子质谱的特色,着重介绍这些仪器改进过的和新增加的仪器部件
【机 构】
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中国上海测试中心
【出 处】
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现代仪器
【发表日期】
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2005年1期
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