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本文介绍了两种国内最新研制成功的水性石项晶体研磨液，ＥＨ－０５型可用着普通自来水稀释３０倍使用于３Ｂ，４Ｂ，６Ｂ型研磨机。ＥＨ－２０型可悬浮Ｗ１４－Ｗ４０号大粒径磨料，完全替代ＰＣ油。用于６Ｂ，９Ｂ型研磨机，使用时可加普通自来水一倍稀释。０
EH系列水性石英晶体研磨液
【摘 要】
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本文介绍了两种国内最新研制成功的水性石项晶体研磨液，ＥＨ－０５型可用着普通自来水稀释３０倍使用于３Ｂ，４Ｂ，６Ｂ型研磨机。ＥＨ－２０型可悬浮Ｗ１４－Ｗ４０号大粒径磨料，完全替代ＰＣ油。用于６Ｂ，９Ｂ型研磨机，使用时可加普通自来水一倍稀
【机 构】
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湖北省化学研究所
【出 处】
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上海微电子技术和应用
【发表日期】
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1997年4期
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