微悬臂梁非制冷红外探测器的研究

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【摘要】

：

本文介绍基于标准硅工艺的非制冷红外探测器的设计和建造.由于氮化硅和金的热膨胀系数有很大的差别,用这两种材料做成的双材料片在红外辐射下会发生热弯曲.用偏振光对弯曲程

【作者】

：

刘海涛陈永平梁平治

【机构】

：

中国科学院上海技术物理研究所

【出处】

：

红外

【发表日期】

：

2004年6期

【关键词】

：

微悬臂梁非制冷红外探测器光机械氮化硅热膨胀系数偏振光

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本文介绍基于标准硅工艺的非制冷红外探测器的设计和建造.由于氮化硅和金的热膨胀系数有很大的差别,用这两种材料做成的双材料片在红外辐射下会发生热弯曲.用偏振光对弯曲程度进行检测,在CCD上呈现偏振光的干涉图案.它完全消除了由电路引入的噪声.目前能够实现的噪声等效温差(NEDT)在1K左右,但其理论值仅为几mK.

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