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用射频等离子体增强化学气相沉积（RF-PECVD）法制备氮掺杂氟化非晶碳（a-C：F：N）薄膜。用紫外-可见分光光谱仪、椭偏仪、傅立叶变换红外光谱仪对薄膜进行了检测。结果表明：随源气体中氮气含量的增加，光学带隙先减小后升高，折射率变化情况与之相反。在其它条件相同的情况下，升高沉积温度使得薄膜的光学带隙和折射率降低。光学带隙的大小与sp^2键含量密切相关，sp^2键浓度越大，薄膜的光学带隙越小。