【摘 要】
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提出了一种基于氧化石墨烯(GO)的声表面波(SAW)湿度传感器,利用铜环辅助滴铸法在LiNbO3表面制备氧化石墨烯薄膜作为湿度敏感层.建立了声表面波传感器叉指电极的三维传热模型,
【机 构】
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中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,太原 030051
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提出了一种基于氧化石墨烯(GO)的声表面波(SAW)湿度传感器,利用铜环辅助滴铸法在LiNbO3表面制备氧化石墨烯薄膜作为湿度敏感层.建立了声表面波传感器叉指电极的三维传热模型,得到了基底表面相速度和温度灵敏度随切向的分布,对传感器的谐振频率和温度稳定性进行了优化.传感器静态和动态的实验结果表明,在10％RH～90％RH的湿度测量范围内,传感器的频移可达2.94 MHz,湿度灵敏度达36.8 kHz/％RH,具有良好的湿度-频率特性.传感器的响应和恢复时间分别为10.8 s和3.7s,迟滞性误差不超过2％.此外,测试结果说明该传感器具备良好的可重复性和稳定性,在智能家居和工业湿度监测领域具有广阔的应用前景.
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