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介绍了一种静电驱动，电容检测单自由度硅微振动角速度传感器实验样机的结构，工作原理，加工方法，驱动方法，检测方法和实验结果，实验结果表明，该角速度传感器实验样机已具有一定的性能，其灵敏度为：3.2mV/(°·s^-1)；量程为：±500°/s；线性度：1%。
一种硅微振动角速度传感器
【摘 要】
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介绍了一种静电驱动，电容检测单自由度硅微振动角速度传感器实验样机的结构，工作原理，加工方法，驱动方法，检测方法和实验结果，实验结果表明，该角速度传感器实验样机已具有一定的性能
【机 构】
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东南大学仪器科学与工程系,河北半导体研究所
【出 处】
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功能材料与器件学报
【发表日期】
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2002年2期
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