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给出了一种基于MEMS技术的静电悬浮转子微陀螺,可同时测量两轴角速度和三轴线加速度。针对转子结构,提出了一种基于模拟PI技术的非集中控制策略来实现悬浮控制。由于起支控制是一个典型的非线性控制,使用传统PI控制很难满足系统对快速性、稳定性和鲁棒性的要求,提出了一种模糊逻辑在线调整PI参数的方法,提高起支控制的鲁棒性和动态响应特性。通过实验结果可以看出,应用模糊自整定PI控制,超调量从应用PI控制器的27%下降到17%,上升时间为3.6 ms,调节时间为25.6 ms,显示了良好的动态性能和全局稳定性。