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研究了倒金字塔填充型锥尖及正向刻蚀硅尖的制备方法，工艺及封装方法等，并分别测试了这两种场发射尖阵列的电子发射特性，分配表明倒金字塔填充型锥尖适用于制备高频器器件，正向刻蚀的硅尖适用于制备高速开关器件。
两种场发射锥尖的制备工艺及电学特性分析
【摘 要】
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研究了倒金字塔填充型锥尖及正向刻蚀硅尖的制备方法，工艺及封装方法等，并分别测试了这两种场发射尖阵列的电子发射特性，分配表明倒金字塔填充型锥尖适用于制备高频器器件，正向刻
【机 构】
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东南大学微电子中心
【出 处】
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东南大学学报：自然科学版
【发表日期】
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1997年6期
【基金项目】
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国家自然科学基金,国防科技预研基金
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