【摘 要】
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首先在大范围内调节负偏压和基体温度两个参数,实现在铝质材料基体上沉积与基体结合良好的TiN膜,在此基础上通过调节N2、C2H2工作气氛流量比及Ti(C,N)、TiN膜层的层数,沉积了
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首先在大范围内调节负偏压和基体温度两个参数,实现在铝质材料基体上沉积与基体结合良好的TiN膜,在此基础上通过调节N2、C2H2工作气氛流量比及Ti(C,N)、TiN膜层的层数,沉积了3类不同的膜,并对其力学与摩擦学性能进行了考察.结果表明:在(N2+C2H2)总流量一定的情况下,C2H2流量增大,则使Ti(C,N)膜层中含C量增多,膜层硬度提高,但韧性变差,表面变粗糙;在总厚基本不变的情况下,层数增多,单层变薄,使膜材晶粒细化,硬度提高,韧性变好.在3类膜中,1#膜C2H2流量适当且膜层数最多(6层),其
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