pVTt法气体流量标准装置开关阀时间系统差补偿方法

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针对pVTt法气体流量标准装置中开关阀影响喷嘴流出系数的测量结果的问题,分析了pVTt法气体流量标准装置中高真空蝶阀和高真空球阀的流通面积与开度的关系,分别推导了2种阀门的质量流量随时间变化的计算公式,并计算了2种阀门最佳的计时位置。设计了一套实验装置对2种阀门最佳的计时位置进行了验证,结果表明:所用蝶阀和球阀的最佳计时点分别位于阀门打开4.5°和2.5°的位置。
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