【摘 要】
：
以氢气稀释的硅烷（SiH4）和硼烷（B2H6）为气源,利用等离子体增强化学气相沉积法（PECVD）制备出p型a-Si薄膜.采用铝诱导晶化技术对不同厚度的铝膜对a-Si薄膜晶化的影响进行了研究.实验
【机 构】
：
武汉理工大学硅酸盐材料工程教育部重点实验室
论文部分内容阅读
以氢气稀释的硅烷（SiH4）和硼烷（B2H6）为气源,利用等离子体增强化学气相沉积法（PECVD）制备出p型a-Si薄膜.采用铝诱导晶化技术对不同厚度的铝膜对a-Si薄膜晶化的影响进行了研究.实验中发现,铝膜溅射为10 s的非晶硅薄膜样品在450℃下退火10 min后,p型a-Si结构仍为非晶态,铝膜溅射为20 s的非晶硅薄膜在450℃下退火20 min后,p型a-Si薄膜开始晶化为polySi薄膜,并且铝膜厚度越厚,则a-Si薄膜晶化程度越强.
其他文献
当今企业间的竞争归根结底是人才的竞争,因此,人力资源管理对于企业来说显得尤为重要.在我国,供电企业具有垄断性,但是随着市场经济的发展,供电企业走向市场是必然趋势,为了
将硫杂蒽酮光引发剂（TX）和共引发剂葡萄糖胺（GA）引入同一个高分子链上,合成新型水溶性高分子型硫杂蒽酮光引发剂（PTX-GA）.通过改变PTX-GA中TX与GA的比例,合成了PTX-GA1、PTX-GA2、P
使用L（-）-α-苯乙胺作为手性衍生化试剂，拆分了外消旋的类立方烷2-萘甲酸光二聚体，并通过圆二色谱进行了证明．
社会实践活动在培养学生实践能力和促进全面发展发挥着积极地作用。多年来，我院团委把学生社会实践活动纳入学校学生素质教育的重要工作中，加强领导，出台措施，统筹规划，积极探索，坚
量子点由于其独特的性质如高荧光量子产率、宽带吸收、抗光漂白性好的光学性质,易于电荷/能量转移的电子学性质以及表面功能化的化学性质,在生物医学领域得到广泛的应用。掺杂型量子点通过引入掺杂态离子可以实现单一量子点的双光发射。代表性的掺杂型量子点包括锰离子掺杂硫化锌(Mn:ZnS)和铜离子掺杂磷化铟(Cu:InP),具有长的掺杂剂发射寿命和低的生物毒性等优点,特别适合于生物传感和成像应用。本论文基于双光
在病险水库的除险加固工程中，首先必须查明小土坝病险水库存在的地质问题、查明渗漏问题，其次在具体问题具体分析，希望通过本文的研究，对小病险水库的防渗问题有所帮助。
高速铁路的建设标准很高,对各环节的测量控制也有很高的精度要求,细微的误差都有严重的安全隐患。而且高速铁路建设标准一直都是测量人员所关注的问题,这也是工程测量发展的
抗战爆发后边区民主政治的发展前后经历两个阶段。从苏维埃式的“阶级民主”变为参议会式“议会民主”，再由“议会民主”过渡到人民代表会议式的“人民民主”。在此过程中，中共