4H-SiC肖特基结式Alpha效应微型核电池(英文)

来源 :传感技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：w18asp

【摘要】

：

阐述了一种4H-SiC肖特基结式Alpha效应微型核电池。利用Schottky结取代常用的p-n结,在活度为0.025mCi/cm2的241Am源辐照下进行测试,得到了开路电压VOC为0.25V、短路电流密度J

【作者】

：

姚贤旺苑伟政乔大勇臧博

【机构】

：

西北工业大学微／纳米陕西省重点实验室

【出处】

：

传感技术学报

【发表日期】

：

2010年10期

【关键词】

：

碳化硅肖特基 Alpha效应电池 241Am源 4H-SiC

【基金项目】

：

supported by National Hi-tech Research and Development Program of China (863 Program,Grant No.2009AA04Z318)

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阐述了一种4H-SiC肖特基结式Alpha效应微型核电池。利用Schottky结取代常用的p-n结,在活度为0.025mCi/cm2的241Am源辐照下进行测试,得到了开路电压VOC为0.25V、短路电流密度JSC为7.64nA/cm2和输出功率密度Pmax为1.12nW/cm2。在对4H-SiC肖特基结研制过程中的一些关键工艺进行研究之后,采用XRD法对欧姆接触成分进行了分析,结果表明形成了二元合金相Ni2Si。为了防止界面态密度的提高而导致漏电流增大,肖特基结的设计和加工过程都要严格控制污染源。考虑了

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