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半导体材料是微电子器件和光伏器件的恭础材料，其杂质和缺陷特性严重影响器件性能。随着微电子器件集成度和光伏器件转换效率的提高，对半导体原材料的要求越来越高。为了满足工业化生产的需求，相应地要求材料检测方法具有更高的灵敏度和更快的测量速度，同时避免对材料产生损伤。
新型光载流子辐射技术强化半导体材料特性测量
【摘 要】
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半导体材料是微电子器件和光伏器件的恭础材料，其杂质和缺陷特性严重影响器件性能。随着微电子器件集成度和光伏器件转换效率的提高，对半导体原材料的要求越来越高。为了满足工
【出 处】
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传感器世界
【发表日期】
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2016年4期
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