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本文介绍了光学显微轮廓仪中干涉图象的数据采集、条纹扫描实时处理系统,在APPLE—Ⅱ微机控制下进行表面轮廓各种粗糙度参数的计算,实现了对薄膜元件、磁带等表面微观形貌的非接触式测量。
表面微观形貌的非接触测量
【摘 要】
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本文介绍了光学显微轮廓仪中干涉图象的数据采集、条纹扫描实时处理系统,在APPLE—Ⅱ微机控制下进行表面轮廓各种粗糙度参数的计算,实现了对薄膜元件、磁带等表面微观形貌的
【机 构】
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浙江大学光仪系,浙江大学光仪系
【出 处】
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光学工程
【发表日期】
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1989年1期
【基金项目】
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国家自然科学基金
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