【摘 要】
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一、前言: 现代真空技术中,获得高真空和超高真空的抽气设备,种类很多,但是,在这些抽气设备中,扩散泵仍然是主要设备之一。 扩散系的主要性能参数:极限真空,抽速,最大反压强
【机 构】
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沈阳真空技术研究所,沈阳真空技术研究所
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一、前言: 现代真空技术中,获得高真空和超高真空的抽气设备,种类很多,但是,在这些抽气设备中,扩散泵仍然是主要设备之一。 扩散系的主要性能参数:极限真空,抽速,最大反压强……等,最近几年来,都有很大进展。其中抽速的提高尤为引起国内外人们的注意。因为它的提高,不仅有技术?
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