自撑金属钒薄靶的真空沉积技术

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钒是一种光亮的银白色金属。由于它的熔点高达1697℃,蒸发点为1880℃,要制成这种金属的自撑薄靶是有一定困难的。我们采用真空沉积法制成了直径18毫米、厚约25—60微克/厘米~2的自撑靶。 Vanadium is a shiny silver-white metal. Because of its melting point up to 1697 ℃, the evaporation point of 1880 ℃, to make this kind of self-sustained thin metal target is a certain difficulty. We made a self-sustaining target 18 mm in diameter and 25-60 μg / cm 2 in thickness by vacuum deposition.
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