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期刊论文
液态金属离子源发射尖端模型的研究
液态金属离子源发射尖端模型的研究
来源 :微细加工技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:mini_fc
【摘 要】
:
将电磁场理论与流体力学理论相结合,从理论上推导得到液态金属离子源发射尖端所应满足的电磁流体力学方程.从电磁流体力学方程出发,可以合理地解释液态金属离子源在不同工作
【作 者】
:
朱一心
【机 构】
:
浙江大学信息学院
【出 处】
:
微细加工技术
【发表日期】
:
2001年4期
【关键词】
:
液态金属
离子源
电磁流体力学
集成电路
liquid metal
ion source
electromagnetic hydromechanics
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将电磁场理论与流体力学理论相结合,从理论上推导得到液态金属离子源发射尖端所应满足的电磁流体力学方程.从电磁流体力学方程出发,可以合理地解释液态金属离子源在不同工作状态下的实验现象.
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