【摘 要】
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采用微机电系统(MEMS)技术制作了磁芯螺线管微电感,该技术包括UV-LIGA、干法刻蚀技术、抛光和电镀技术等.研制的微电感大小为1 500 μm×900 μm×100 μm,线圈匝数
【基金项目】
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国家科技攻关项目，中国科学院资助项目，上海市纳米科技专项基金
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采用微机电系统(MEMS)技术制作了磁芯螺线管微电感,该技术包括UV-LIGA、干法刻蚀技术、抛光和电镀技术等.研制的微电感大小为1 500 μm×900 μm×100 μm,线圈匝数为41匝,宽度为20 μm,线圈之间的间隙为20 μm,高深宽比为5∶1.测试结果表明:在1～10 MHz频率下,其电感量为0.408～0.326 μH,Q值为1.6～4.2.
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