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采用脉冲激光沉积技术在（0001）取向的蓝宝石基片上外延生长了Pt单晶薄膜，研究了沉积温度和激光能量对Pt薄膜的晶体结构，表面形貌及电学性能的影响规律。X射线衍射（XRD）分析结果表明，在沉积温度650℃、激光脉冲频率1Hz和激光能量280mJ的条件下，制备得到的Pt（111）单晶薄膜，其（111）面叫摇摆曲线半高宽（FWHM）仅为0．068°。原子力显微镜（AFM）分析表明外延的Pt薄膜表面具有原子级平整度，其表面均方根粗糙度（RMS）约为1．776nm。四探针电阻测试结果显示薄膜方阻为1．9