【摘 要】
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微电子机械系统（MEMS）等领域的飞速发展，促使我们迈进了一个表面效应在许多现象中占主导地位的研究领域。本文重点介绍在MEMS中经常遇到的微尺度粘着弹性接触的相关理论。通过对
【机 构】
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清华大学摩擦学国家重点实验室,中国科学院力学研究所非线性力学国家重点实验室（LNM）
【基金项目】
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“国家重点基础研究发展规划（973）”项目!“集成微光机电系统研究”（课题编号：G1999033103）,,国家杰出青年基金!B类
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微电子机械系统（MEMS）等领域的飞速发展，促使我们迈进了一个表面效应在许多现象中占主导地位的研究领域。本文重点介绍在MEMS中经常遇到的微尺度粘着弹性接触的相关理论。通过对两个无量纲数-Tabor数μ（以及其相应形式）和粘着数θ的分析，以及考虑它们对于粘着力的影响，指出了粘着弹性接触理论中所隐含的尺度效应，随着特征尺度的减小，粘着弹性接触中的表面效应愈加明显。
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