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RFMEMS开关是低功耗、低损耗高频通讯电路和系统的关键部件。静电驱动RFMEMS开关因具有零直流功耗、开关时间短、结构简单、易集成的优点而成为研究热点。但是驱动电压高、薄膜应力变形严重、寿命短等问题制约了其发展。提出了一种基于单晶硅梁的推拉式静电RFMEMS开关结构。能够解决静电RFMEMS现有的缺陷。