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选择刻划机工作台导轨结构时主要考虑爬行以及超精密研磨。试验结果表明,滚柱导轨在不同刻划方式下不存在爬行现象,又便于进行超精密研磨加工以保证直线性精度,成为光栅刻划机工作台导轨的首选结构形式。
光栅刻划机工作台导轨结构形式选择及试验
【摘 要】
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选择刻划机工作台导轨结构时主要考虑爬行以及超精密研磨。试验结果表明,滚柱导轨在不同刻划方式下不存在爬行现象,又便于进行超精密研磨加工以保证直线性精度,成为光栅刻划
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
【出 处】
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长春工业大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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2014年5期
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