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微位移测量原理有许多种,利用偏振光的旋光效应是一种高效、简洁、精确的新方法。旋光效应是指单色线偏振光在沿光轴方向通过石英晶体时,透射出来的光的振动面会产生旋转的物理现象,其旋转角度与晶体厚度有关。用激光器、起偏器、石英晶体、千分尺等设计了一个微位移测试系统,测试表明:其测量精度能达到0.1μm,测量范围可达300μm,相对误差不超过±1%,能满足各种仪器仪表的微位移测量要求,可广泛应用于精密微位移检测系统中。