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采用结构力学的力法，建立了求解交指式微结构加速度传感器刚度的力学模型。与材料力学方法相比，简化了推导过程，得到了便于微机计算的结论。
叉指式微结构加速度传感器刚度的力法求解
【摘 要】
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采用结构力学的力法，建立了求解交指式微结构加速度传感器刚度的力学模型。与材料力学方法相比，简化了推导过程，得到了便于微机计算的结论。
【机 构】
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中国工程物理研究院电子工程研究所
【出 处】
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传感器技术
【发表日期】
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2000年6期
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