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报道了一种新型温敏和湿敏元件共享一块陶瓷衬底的传感器结构，温度传感器采用半导体氧化物ＮＴＣ材料的厚膜顺采用高分子电阻型结构，从而实现了温湿一体化，这种传感器不但给温度和湿度的同时测量带来方便，而且独湿敏元件的温度补偿更为准确，并且具有体积小、价格廉、晚皇集成、使用方便等特点。
新型温—湿一体人敏感元件的研究
【摘 要】
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报道了一种新型温敏和湿敏元件共享一块陶瓷衬底的传感器结构，温度传感器采用半导体氧化物ＮＴＣ材料的厚膜顺采用高分子电阻型结构，从而实现了温湿一体化，这种传感器不但给温度和湿度
【机 构】
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吉林大学电子工程系,沈阳工业仪器仪表研究所
【出 处】
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传感器技术
【发表日期】
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1999年4期
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