高压击穿在多晶硅生产中的应用

来源 :云南化工 | 被引量 : 0次 | 上传用户:changjian200910
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以我公司12对棒1至4号还原炉为例,介绍技改前卤素灯加热启动击穿在实际生产中遇到的问题,并与技改后高压击穿进行对比。说明高压击穿在多晶硅生产中的优点以及在生产中存在的问题,并提出相应的解决办法。
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