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为了获得具有均匀的倒金字塔表面微结构的多晶硅,提出了一种新腐蚀加工方法.通过建立一个相互正交的超声驻波场,来协助硅的化学侵蚀并改善其对光的吸收能力.首先对硅片表面结构进行一些比较,在二维上建立网格状的数学模型.然后建立网格中粒子运动的控制理论模型,并进行仿真验证.最后设计实验用于检验超声驻波对粒子的运动控制效果.多晶硅侵蚀结果说明将超声驻波应用在网格化微加工上是可行、可靠的.