【摘 要】
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本文利用杂质和基体在不同的气压下,其沸点不同,控制一定温度,工作压强和浓缩时间就可使基体与杂质分离,从而达到浓缩杂质的目的。本法具有空白值低,灵敏度高,操作简单,分析
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本文利用杂质和基体在不同的气压下,其沸点不同,控制一定温度,工作压强和浓缩时间就可使基体与杂质分离,从而达到浓缩杂质的目的。本法具有空白值低,灵敏度高,操作简单,分析速度快等显著优点,适用于半导体材料和超纯金属的分析。一、实验部分
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